突发！ASML两款光刻机出口许可被吊销，美国政府要求立即停止向中国销售先进芯片设备

 （图片来源：钛媒体 App 编辑拍摄）

钛媒体 App 获悉，北京时间 1 月 2 日，荷兰光刻机龙头阿斯麦公司（ASML，NASDAQ: ASML）向钛媒体 App 展示一份声明中称：荷兰政府部分撤销了此前颁发的 NXT:2050i 和 NXT:2100i 光刻机在 2023 年发货的出口许可证，这将对 ASML 在中国的个别客户产生影响。

" 我们预计此次出口许可证撤销及最新的美国出口管制限制不会对我们 2023 年的财务情况产生重大影响。在近期与 ASML 的沟通中，美国政府对其出口管制的适用范围和影响进行了进一步澄清。美国 2023 年 10 月 17 日发布最新出口管制规则，限制向个别先进芯片制造晶圆厂发运特定型号的中高端 DUV（深紫外线）浸润式光刻机。"ASML 方面表示。

ASML 在声明中强调，公司将持续致力于遵守经营所在国家 / 地区所有适用的法律和法规，包括出口管制法规。

另有消息称，在 ASML 发布官方声明前夕，美国政府官员就要求 ASML 立即停止预先安排的部分机器向中国客户发货。

据悉，DUV 光刻机被用于生产 28nm 及更成熟制程的芯片。理论上，在多重曝光技术下最高能制造 10nm 芯片产品，主要供应商有荷兰 ASML、日本尼康、日本佳能等厂商。

ASML 在全球芯片供应链中占据着至关重要的地位。在半导体制造行业，DUV 光刻机可以用于制造 7nm 及以上制程的芯片，涵盖了大部分数字芯片和几乎所有的模拟芯片，随着先进制程向 5nm 及以下进化，EUV 成为未来光刻技术和先进制程的核心，主要用于 7nm 及以下先进芯片制造工艺，荷兰 ASML 是唯一的供应商。

因此，ASML 设备出口限制会对全球半导体产业产生重要影响。

涉及此次出口许可禁令的两款设备中，ASML   TWINSCAN NXT:2050i 是一款高生产率、双级浸没式光刻工具，专为在先进节点批量生产 300mm 晶圆而设计；而另一款 NXT:2100i 是双级浸没式光刻设备，其配备了新的投影光学调整系统，ArF 光源为 193nm，每小时光刻的晶圆数量达 295 片，主要用于光刻 40nm-28nm 芯片。

2023 年 3 月，荷兰政府宣布对半导体技术出口实施新的限制，要求 ASML 需要申请出口许可证才能装运 DUV 光刻机。从 ASML 的解读来看，该新规主要涉及能生产先进制程芯片的高端 DUV 光刻机型号的采购，暂不影响 2000i 之前的型号。该禁令于 9 月 1 日起执行。

据 ASML 财报显示，截止 9 月 30 日的 2023 年前三季度，ASML 全球净销售额达 203.21 亿欧元，而中国区同期收入约合 52.67 亿欧元，占比 25.91% 左右。预计整个 2023 财年，ASML 全球销售额增长 30%，将达 270 多亿欧元。

2023 年 9 月，ASML 宣布，该公司已经申请部分产品出口许可证，这一许可证允许其在 2023 年内向外出售 NXT:2000i 以及更先进的 NXT:2050i、NXT:2100i 等 DUV 光刻机。而 2024 年刚开年，这一许可证被吊销。

2023 年 10 月，ASML 即将离任的首席执行官温宁克（Peter Wennink）表示，美国和荷兰的新限制措施将影响 ASML 在中国多达 15% 的销售额。

ASML 全球副总裁、中国区总裁沈波早前向钛媒体 App 透露，到 2023 年底，ASML 在中国的光刻机加上量测的机台装机量接近 1400 台。基于对产能的判断，ASML 目标是在 2025 年底或 2026 年初，具备每年 500 台 -600 台深紫外（DUV）的设备产能。（详见钛媒体 App 前文：《对话 ASML 中国区总裁沈波：中国已有近 1400 台，ASML 为何能领军光刻机市场？｜直击 · 2023 进博会》）

目前，ASML 公司正处于管理层交替时期。2023 年 11 月 30 日，ASML 监事会宣布，拟任命现任首席商务官兼管理委员会成员 Christophe Fouquet 担任公司下一任总裁兼首席执行官。该任命须经 4 月 24 日的年度股东大会批准。届时，ASML 联席总裁兼 CEO 温宁克，公司总裁兼 CTO Martin van den Brink 将在完成当前任期后从公司荣休。

有消息称，美国国家安全顾问沙利文（Jake Sullivan）于去年底致电荷兰政府，要求荷兰政府对 ASML 的 DUV 光刻设备进行限制，但荷兰要求美国政府直接与 ASML 联系，以讨论 DUV 光刻机的发货事宜。而在 ASML 的出口许可证到期前数周，美国政府就要求 ASML 取消一部分向中国出口的机器，但并不清楚其具体的数量，这些设备每台的成本可能高达数千万美元。

ASML 预计目前被撤销的出口许可证以及美国最新发布的出口管制措施不会对其 2023 年业绩产生重大影响。

针对美国政府和荷兰政府对华限制出口光刻设备，中国外交部发言人毛宁日前表示，近年来，美国为剥夺中国发展权利、维护自身霸权，泛化国家安全概念，将经贸科技问题政治化、工具化，胁迫诱拉一些国家对华采取出口限制措施。有关霸凌霸道行径严重破坏市场规则和国际经贸秩序，不仅损害中国企业合法权益，也严重冲击全球产业链供应链稳定和世界经济发展，中方对此坚决反对。中方希望荷方秉持客观公正立场和市场原则，尊重契约精神，不滥用出口管制措施，维护国际产业链供应链稳定和自由开放的国际贸易秩序，维护中荷两国和双方企业共同利益。

毛宁强调，中国坚决反对的是人为干扰经贸合作、人为破坏全球产供链稳定，这不符合任何一方的利益。

（本文首发钛媒体 App，作者｜林志佳）